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行 政 法 院 判 決
100年度判字第2223號
上 訴 人 經濟部智慧財產局
代 表 人 王美花
上 訴 人
即
參加 人 智勝科技股份有限公司
代 表 人 朱明癸
訴訟代理人 蔡雅蓯
律師
方雍仁 律師
楊啟宏 律師
被 上訴 人 美商羅門哈斯研磨材料控股公司(Rohm and Haas
Electronic Materials CMP Holdings, Inc.)
代 表 人 Blake T. Biederman﹝Principal﹞
訴訟代理人 潘昭仙 律師
黃麗蓉 律師
馮達發 律師
上列
當事人間發明
專利舉發事件,上訴人對於中華民國99年3月
4日智慧財產法院98年度行專訴字第67號行政判決,提起上訴,
本院判決如下:
主 文
上訴駁回。
上訴審
訴訟費用由上訴人負擔。
理 由
一、美商羅德爾控股公司(即被上訴人前身)於民國90年5月25
日以「化學機械平面化之拋光墊」向上訴人申請
發明專利,
同時主張優先權(受理國家為美國,申請日為西元2000年5
月27日,申請案號為60/207938;2000年7月28日,申請案號
為60/222099),經上訴人編為第00000000號審查,審查
期
間被上訴人另申請修正發明名稱為「化學機械平面化之拋光
襯墊」,經上訴人准予專利公告期滿後,發給發明第176078
號專利證書(下稱
系爭專利)。復經上訴人於民國93年6月2
9日核准公告系爭專利權人之公司名稱變更為被上訴人。系
爭專利之申請專利範圍共10項,其中第1、8項為獨立項,其
餘為附屬項。申請專利範圍第1項:「一種用來平面化一半
導體元件或其先質表面之拋光襯墊,該襯墊之特徵為:一用
來平面化該表面之拋光層,該層具有一在30℃到90℃時約為
1到3.6的E'比。」第8項:「一種用來拋光一半導體晶圓之
金屬鑲嵌結構的方法,包含:向一晶圓和拋光襯墊之拋光層
之間的界面偏斜晶圓;令一拋光流體流動到界面中;以及提
供晶圓和拋光襯墊在壓力下進行的相對運動,以使得拋光流
體與晶圓間之運動受壓接觸導致沿著該晶圓表面的平面移除
;該拋光層具有:一約為40到70 Shore D的硬度;一在40℃
時約為100到2,000MPa的張力模數;一約為100到1,000(1/Pa
在40℃時)的KEL以及一在30℃到90℃時約為1到5的E'比。」
嗣上訴人即參加人主張系爭專利違反核准專利時
專利法第20
條第1項第1款及第2項規定(參見原判決附表一),不符發
明專利要件,對之提起舉發。案經上訴人審查,於97年4月2
日以(97)智專三(三)05056字第09720177310號專利舉發
審定書為「舉發成立,應
撤銷專利權」之處分。被上訴人不
服,提起
訴願,經經濟部98年4月10日經訴字第09806110000
號決定駁回,遂提起
行政訴訟。經智慧財產法院98年度行專
訴字第67號行政判決撤銷
訴願決定及原處分,上訴人即參加
人不服,遂對之提起上訴。
二、被上訴人起訴主張:引證一所引用者
乃「剪力彈性模數」,
與系爭專利所引用之「張力彈性模數」不同。引證一與引證
1-5從未表明其使用之夾具種類,上訴人即參加人妄稱其使
用「拉伸夾具」(Tension Clamp)
云云,
不足採信。又引
證一不可能使用TA 2980「拉伸夾具」進行測試。引證一所
有數值均G'值,並非E'值,已如前述。又引證一及其第1、2
圖均完全未揭示其圖上各點之溫度及G'值為何,
遑論是30℃
及90℃之G'值,自不得從引證一第1圖測量出30℃及90℃之
G'值作為舉發證據。引證一及其第1、2圖均未揭示其圖上各
點之溫度、G'值、及30℃及90℃之G'值。又引證一之公開日
期並未早於系爭專利之
優先權日,至上訴人即參加人宣稱為
引證一作者之一Irene Li之聲明書(即引證1-6),僅得證
明某位自稱為Irene Li者,自行宣稱其為引證一與引證1-5
之作者,
惟此並無法證明其所述為真。引證二第43欄之第13
表與第7圖完全未
揭露30℃與90℃之E'值。引證二第7圖關於
Storage Modulus(MPa)之座標乃是log座標,係等比間距,
並非線性座標,無從
適用外插法或內插法,且細觀該圖可知
,引證二乃是手繪圖表,乃一不精準之圖譜,甚且垂直座標
單位為log座標。引證三則係用來研磨具有彈性紀錄媒材(
即磁頭)且並未揭示其研磨物品可用於平面化半導體元件或
其先質表面。引證十九之G'(30℃)與G'(90℃)之比值,並非
當然為E'(30℃)與E'(90℃)之比值,且引證十九係研磨墊於
使用時或使用後之測試結果,與系爭專利申請專利範圍第1
項係針對使用前之情形顯不相同。引證十九第4圖所揭示之
E'(30℃)/E'(90℃)比值,既是研磨墊於使用時或使用後之
測試結果;而系爭專利申請專利範圍第1項之E'(30℃)/E'(9
0℃)比值,則係針對研磨墊使用前之數據,二者顯然不同。
是以,引證十九自不足否定系爭專利申請專利範圍第1項之
新穎性。引證二十第6頁第28至30行係謂:「...30℃時之張
力模數與60℃時之張力模數比例在1到2.5之間...」,並非E
'(30℃)/E'(90℃)之比值,上訴人坦承引證二十確實未揭示
E'(30℃)/E'(90℃)之比值等語,求為判決撤銷訴願決定及
原處分。
三、上訴人則以:㈠引證一之第1圖揭露IC1000與SubaIV研磨墊
之DMA測試結果圖,由圖上可知IC 1000研磨墊之彈性模數之
比值為2.85,係落在系爭專利請求項第1項之範圍內(1~3.6
)。因此,引證一足資證明系爭專利申請專利範圍第1項不具
新穎性。引證一之首頁最上一行揭露有「2000 Materials
Research Society」,足以證明引證一之全部內容係2000年
公開。又引證一所揭露之IC1000拋光墊確與引證二十一所示
之「Rodel ICl000 CMP Pad」為相同的物品,且該IC1000拋
光墊在系爭專利優先權日前已公開,可知引證1-2、引證1-4
及引證1-5均為
佐證,而引證一及引證1-1之組合足以證明引
證一之公開日期早於系爭專利之申請日。引證一之第1、2圖
並非一般之結構示意圖,係依照實驗數據所繪製之關係圖,
且橫軸縱軸各具刻度單位,熟悉該項技藝者均得以據此取得
其所對應之數據。引證二之第7圖並非一般之結構示意圖,
係依照實驗數據所繪製之關係圖,且橫軸縱軸各具刻度單位
,雖然其縱軸為log座標,然其刻度亦有其比例之關係,熟
習該項技術者均得以據此取得其所對應之數據,且其第43欄
之第13表亦揭示有相關之數據,熟習該項技術者均得以「內
差法」推算出其所對應之數據。引證三之主要美國專利分類
號為51/298,而引證十八由美國專利
商標局(USPTO)專利
查詢資料庫,查得22件專利,其中大部分為被上訴人所擁有
適用於拋光半導體晶圓表面的化學機械研磨拋光墊之相關專
利,
足證引證三確屬系爭專利之相關先前技術。故對其所屬
技術領域中具有通常知識者能直接且無歧異推知引證三係可
作為用來平面化一半導體元件或其先質表面之拋光襯墊。另
系爭專利申請專利範圍第1項
所載之具有一在30℃到90℃時
約為1到3.6的E'比,僅是襯墊在規格上之敘述,其規格越嚴
格,襯墊之品質越佳,因此對熟習該項技術者依申請前之先
前技術引證二十一之教示(其第6頁第28-30行揭示在30℃到
60℃時張力模數比為1到2.5),即能輕易將60℃直接置換為
90℃,由於該差異屬僅在於
參酌引證文件即能直接置換的技
術特徵,故引證二十一足資證明系爭專利申請專利範圍第1
項不具新穎性。㈡引證四揭露有針對CMP研磨墊之硬度做實
驗,在第266頁上之第3圖顯示ICl000/SubIV疊合研磨墊在乾
燥時之硬度在5lShore D左右,泡水24小時之後的硬度在47S
hore D左右,皆落在本項之範圍內(40~70 Shore D)。又引
證一之第1圖顯示ICl000研磨墊之E'(40℃)約為327Mpa,
tanδ(40℃)約為0.083,因此可計算得出KEL(40℃)=2521/
Pa。而且引證一第2圖顯示ICl000/SubaIV疊合研磨墊之E'(4
0℃)約為233 Mpa,tanδ(40℃)約為0.111,因此可計算得
出KEL(40℃)=4711/Pa。上述之二者在40℃之張力模數及KE
L值皆分別落在系爭專利申請專利範圍第8項(150~2000MPa)
及(100~1000 l/Pa )之範圍內。其第1圖揭露ICl000與
SubaIV研磨墊之DMA測試結果圖,由圖上可知ICl000研磨墊
之E'(30℃)約為376Mpa,而E'(90℃)約為132Mpa。因此,E'
(30℃)/E'(90℃)之比值為2.85,落在系爭專利申請專利範
圍第8項範圍內(1~5)。因此引證一、引證四、引證十二之
組合,足以證明系爭專利申請專利範圍第8項不具
進步性等
語,
資為抗辯,求為判決駁回被上訴人之起訴。
四、原審斟酌全辯論意旨及調查證據之結果,以:㈠上訴人即參
加人所提之引證資料無法證明系爭專利申請專利範圍第1項
不具新穎性:1.引證一為Dynamic Mechanical Analysis (D
MA) of CMP Pad Materials論文影本,其中第E7.3.1頁左上
方頁首處有「Mat. Res. Soc. Symp. Vol. 613Ⓒ2000
Materials Research Society」字樣,僅載有發行之年度,
而無發行之月日,僅能證明引證一係於2000年完成。依上訴
人所訂定、於民國83年11月25日公告之專利審查基準第一篇
「發明專利審查基準」第二章「專利要件」第三節「新穎性
」「三、發明不具新穎性之情事」「⒉申請前已見於刊物或
已公開使用(專20.Ⅰ.1)」第⒋Ⅰ規定,認定其發行日期
為西元2000年之末日(12月31日)。上訴人及上訴人即參加
人則主張引證一係Materials Research Society(下稱MRS
)於同年4月26日至27日所舉辦之學術研討會公開發表,並
提出引證1-1至1-9為證明引證一之證據能力之補強證據,
茲
分述如後。引證1-1「Chemical-Mechanical polishing2000
-funda mentals and Materials Issues」一書節本,係由
MRS於2001年所出版,其中目錄第vii頁記載「Dynamic
Mechanical Analysis (DMA) of CMP Pad Materials」一文
刊載於該書第E7.3部分,其第E7.3.1頁與引證一之第E7.3.1
頁內容相同,是以引證1-1僅能證明引證一於2001年公開發
行,無法遽以日後出版之論文集(引證1-1)推論引證一已
於2000年4月26日至27日之學術研討會公開發表,且引證一
所載即當時發表之全部內容。引證1-2為MRS於其官方網站張
貼所舉辦之2000年MRS春季學術研討會議第E場(SymposiumE
from 2000 MRS Spring Meeting)之文章,「Dynamic
Mechanical Analysis (DMA) of CMP Pad Materials」為其
中一篇,經下載後列印之內容與引證一相同,其網頁列印日
期為2006年8月12日。引證1-3則為自MRS 協會網站上購買下
載引證一全文之「PURCHASE PAPER」之點選畫面,其網頁列
印日期為2007年4月26日。是以引證1-2 、1- 3均晚於系爭
專利之國際優先權日(2000年5月27日),無法證明引證一
之全部內容確已於同年4月26日至27日之學術研討會上公開
發表。引證1-4為MRS於2000年4月26至27 日舉辦Symposium
E學術研討會當時所印製之論文摘要,惟此僅為研討會場次
之摘要,並無引證一之全文,且其中第11 6頁標示第E7.3場
次之起
迄時間為上午9時15分至9時30分止,前後僅15分鐘,
該場次摘要所載標題「Mechanistic Aspects of the
Relationship Between CMP Consumables and Polishing
Characteristics」與引證一亦不相同,無足據以判斷其技
術內容。又引證1-5,據上訴人即參加人
所稱此為引證一之
作者於2000年4月26日至27日之學術研討會所公開發表之文
件資料,惟並無任何日期標示,且其標題「Mechanistic
Aspects of the Relationship Between CMP Consumables
and Polishing Characteristics」亦與引證一不同,無從
認定引證1-5確於2000年4月26日至27日之學術研討會上已公
開發行。至引證1-6為Irene Li(即引證一第E7.3.1頁所列
之第一作者)於2007年12月7日所出具之聲明書,聲明其為
「Mechanistic Aspects of the Relationship Between
CMP Consumables and Polishing Characteristics」文件
(即引證1-5)之作者,於2000年4月26日至27日之學術研討
會公開發表
上開文件,至其詳細論述內容即為引證一之論文
所載,且此二文件所揭露之技術特徵相互吻合。至引證1-7
為Irene Li之護照影本,引證1-8為Irene Li就讀tufts大學
博士班之網頁,引證1-9為Irene Li自University of
Central Florida畢業之資料。然Irene Li之聲明係依憑個
人記憶及經驗,就個人感官知覺作用直接體驗之
客觀事實而
為書面陳述,為免有流於個人主觀偏見與錯誤臆測
之虞,仍
須有客觀具體之證據
予以佐證,否則僅憑書面陳述不足以證
明引證一及引證1-5於2000年4月26日至27日之學術研討會即
已公開發行。縱使Irene Li所稱引證1-5係於同年4月26日至
27日之學術研討會公開發表,其亦僅稱引證1-5之「詳細論
述內容」即為引證一所載,且引證1-5與引證一揭露相互吻
合之技術特徵,並未表示引證一係於該次學術研討會上公開
發表。是以引證1- 4至1-9均無法證明引證一之全部技術內
容已於同年4月26日至27日之學術研討會公開發行且已達於
不特定之多數人足以閱覽之狀態。綜上,上訴人即參加人所
提之引證一、1-1至1-9無法互相
勾稽,無從認定引證一已於
2000年4月26日至27日公開發行,而無法證明其公開日早於
系爭專利之優先權日(同年5月27日),自不得作為證明系
爭專利申請專利範圍第1項不具新穎性之證據。2.附表二編
號2所示之
爭點:引證二係1997年9月16日美國專利公告第00
00000號專利案,揭示一種研磨材料,完全未揭示該材料可
應用於「用來平面化一半導體元件或其先質表面之拋光襯墊
」,是以引證二並無此「用途限定」之技術特徵,無法證明
系爭專利申請專利範圍第1項不具新穎性。3.附表二編號3所
示之爭點:引證三揭示一種研磨材料,特別適合應用於製造
彈性磁性記錄媒材與研磨工具上,然完全未揭示該材料可應
用於「用來平面化一半導體元件或其先質表面之拋光襯墊」
,是以引證三並無此「用途限定」之技術特徵,無法證明系
爭專利申請專利範圍第1項不具新穎性。4.附表二編號4所示
之爭點:引證十九係1995年公開之The effect of the
polishingpad treatments on the chemical-mechanical
polishing of SiO2 films之論文影本(Thin Solid Films,
1995, Vol. 220, pp. 601~606)儀器分析適用於半導體晶
圓表面的化學機械拋光之研磨墊。引證十九之第4圖係依照
實驗數據所繪製之關係圖,且橫軸、縱軸各具刻度單位,為
科學數據通常之表達方式,並非一般物品裝置之結構示意圖
。又該第4圖中溫度30℃及90℃皆有實驗數據點,可明確讀
出其各自相對應之G'值,
難謂屬推測之值,且引證十九之第
603頁「3.3 The temperature effect」第8至11行亦有文字
說明第4圖中有關G'值與溫度之關係,而揭露G'(30℃)/G'(9
0℃)之比值對IC1000研磨墊幾近為3,對SUBA IV拋墊約為
1.5(見原審卷第2冊第190頁)。是以此部分與上開審查基
準所定之概念不同,而得作為判斷新穎性
與否之引證內容。
引證十九之第4圖之圖式說明縱軸標示及第603頁「3.3 The
temperature effect」第8至11行均載明為「G'」,足見其
所揭示之G'值為「剪應力模數(shear storage modulus,
G')」,並非「張力模數(tensile storage modulus, E'
)」。而引證19-1之第9頁揭示E=2G(1+μ),故G與E具有G=E
/2(1+μ)之關係,其中μ為蒲松比(Poisson's ratio)。
因此,引證十九所揭示之技術內容G'比值能否由熟習該項技
術者直接推導出E'比值,端視蒲松比是否為一定值(consta
nt)
而定。關於蒲松比之性質與範圍,及得否以蒲松比之最
大與最小極端值,將引證十九IC1000拋光墊G'(30℃)/G'(90
℃)之比值3,換算E'(30℃)/E'(90℃)可能落於2至3之間,
原審
依職權蒐集「蒲松比資料」,並於99年2月4日審理時經
兩造、上訴人即參加人予以辯論,依智慧財產案件審理法第
8條第2項規定,得採為裁判之基礎。材料
承受軸向張力時,
軸向會伸長,此為軸向應變;橫向亦隨軸向之伸長而收縮,
即材料之寬度隨長度增長而收縮;而橫向應變與軸向應變之
比率,即蒲松比。除少數Auxetics類特殊材料,往X軸拉伸
,其Y軸方向反而變寬,其蒲松比為負值外,就絕大多數之
材料之蒲松比皆為正值(位於0至0.5之間),此有「蒲松比
資料」附卷
可稽蒲松比測量不易,且在限定應用範圍內隨環
境之變化量通常並非很大,故於實務應用上通常將之視為定
值。惟此為實務上應用之約略值,實際上蒲松比並非定值,
而係隨溫度、時間、張力之不同而有所變化,此觀被上訴人
所提之原證4「Time, Temperature, and Strain Effects
on Viscoelastic Poisson's Ratio of Epoxy Resins」文
章《刊載於POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE-2008》中
第6(a)圖,及上訴人即參加人所提之參證29「Thermal Expa
nsion of Polyurethane Reinforced With Continuous Gla
ss Fibers」文章《刊載於POLYMER COMPOSITES, JUNE 1988
, Vol.9, No.3》中第5圖,其蒲松比值隨溫度而變化自明。
另蒲松比改變之程度亦隨材質之不同而有所差別,通常對溫
度的影響,於材質之玻璃轉移溫度(Tg)處更會有顯著之效應
。引證十九之第602頁「2.1 Pad dynamic shear-modulus
characterzation」第9至11行記載「...In this work,
Poisson's ratio of polishing pads was assumed to be
0.5, which is suitable for most polymers.」;又原證4
之第1頁右欄第7至8行記載:「...Poisson's ratio of
viscoelastic material is still often considered as a
constant,...」,既使用「assumed」(即「假設」之意)
、「often considered as」(即「通常被視為」之意),
即無法認定蒲松比即為定值。就得否以蒲松比之最大與最小
極端值(0.5與0),將引證十九IC1000拋光墊G'(30℃)/G'(
90℃)之比值3,換算E'(30℃)/E'(90℃)可能落於2至3之間
乙節,其推論前提乃「溫度愈高,蒲松比值愈高」。依引證
十九之第601頁右下欄第9至11行記載,IC1000拋光墊之材料
為微孔狀結構之聚胺酯(microporous polyurethane),且
其表面為硬質結構(rigidsurface),是以IC1000拋光墊之
材質並非均勻結構,故其蒲松比值是否隨溫度升高而升高,
尚難確定。上訴人即參加人主張縱採原證4之實驗數據,將
引證十九所揭露之G'比例換算為E'比例,系爭專利仍為引證
十九所揭露云云。惟原證4之實驗數據的材質(polymeric
materials)與引證十九之IC1000拋光墊材質並不相同,操
作條件迥異,則原證4與引證十九之蒲松比值自難謂相同,
無從尚難
比附援引。上訴人及上訴人即參加人並未提出證據
資料證明引證十九之IC1000研磨墊之蒲松比質確隨溫度升高
而升高,自無從以蒲松比之最大與最小極端值(0.5與0),
將引證十九IC1000拋光墊G'(30℃)/G'(90℃)之比值3,換算
E' (30℃)/E'(90℃)可能落於2至3之間。準此,引證十九所
揭示之G'值為「剪應力模數(shear storage modulus)」
,
而非「張力模數(tensile storage modulus)」,且所
揭示者為IC1000或SUBA IV研磨墊之G'(30℃)/G'(90℃)之比
值,而非E'(30℃)/E'(90℃)之比值,亦未揭示研磨墊材質
於30℃及90℃之蒲松比值,由於蒲松比並非定值,復無證據
證明引證十九之IC1000研磨墊之蒲松比質確隨溫度升高而升
高。是以熟習該項技術者無法據引證十九揭示之G'值於30℃
及90℃之變化量經公式換算推論,而直接推導其E'(30℃)/E
'(90℃)之比值落於系爭專利範圍第1項界定E'比之數值範圍
(1至3.6)內。故引證十九所載之技術內容,並未揭示系爭
專利申請專利範圍第1項之技術特徵,無法證明系爭專利申
請專利範圍第1項不具新穎性。5.附表二編號5所示之爭點:
引證二十係1999年2月18日公開之W099/07515專利案,其中
第6頁第28至30行揭露該研磨墊之張力模數比係30℃及60℃
之值。而系爭專利申請專利範圍第1項所界定之E'比係30℃
及90℃之比值,故引證二十並未揭示30℃及90℃之E'比值,
無法證明系爭專利申請專利範圍第1項不具新穎性。至上訴
人即參加人主張縱使引證二十第6頁第28至30行揭露在30℃
與60℃時之張力模數比例在1到2.5之間,惟對熟習該項技術
者依此教示,當能輕易將60℃直接置換為90℃,該差異性屬
僅在於參酌引證文件即能直接置換的技術特徵云云。然引證
二十
前揭內容僅揭示張力模數比係30℃及60℃之值,如何「
參酌引證文件即能直接置換」,未據上訴人即參加人具體敘
明,是上訴人即參加人此部分主張要無可取。引證20-1至引
證20-6,均非早於系爭專利優先權日公開之前案技術資料,
不具證據能力。又美國專利商標局(USPTO)縱以引證20-5
,認定引證20-2之申請專利範圍不具新穎性而予以
核駁(
reject),惟各國專利法制及審查基準各異,即使與系爭專
利相同技術內容之專利申請案業經美國核駁,亦難據此遽謂
系爭專利即不具新穎性。6.引證二十一係Rodel公司IC1000
研磨墊之型錄,其中第2頁頁尾有「Rodel 1999 ALL Rights
Reserved」字樣,惟該型錄並無揭示該IC1000研磨墊E'(30
℃)/E'(90℃)之比值,故引證二十一無法證明系爭專利申請
專利範圍第1項不具新穎性。然引證二十一僅簡要記載IC100
0拋光墊之規格及內容,並未具體揭露其E'(30℃)/E'(90℃)
之比值值,無從認定引證二十一已公開使用致系爭專利申請
專利範圍第1項之技術內容成為公知狀態,或處於不特定人
得以使用該發明之狀態,自亦無從以引證二十一與引證一、
引證1-5、引證十九相互勾稽,而認系爭專利申請專利範圍
第1至4、7項之技術內容均因IC1000拋光墊之公開使用而喪
失新穎性。㈡上訴人即參加人所提之引證資料無法證明系爭
專利申請專利範圍第2項不具新穎性或進步性:系爭專利申
請專利範圍第2項為依附於第1項獨立項之附屬項,除包含第
1項所有之技術特徵之外,第2項進一步限縮界定其中「該拋
光層具有一約為40到70 Shore D之硬度。」。而引證二十、
二十一既無法證明系爭專利申請專利範圍第1項不具新穎性
,自亦無法證明系爭專利申請專利範圍第2項不具新穎性。
引證四、引證五、引證六、引證二十一、引證二十二,並未
揭示該研磨墊之E'(30℃)/E'(90℃)之比值。而上訴人及上
訴人即參加人均未能證明引證一之公開日期早於系爭專利之
優先日,不具證據力,故引證一與引證四、引證五、引證六
、引證二十一、引證二十二之結合無法證明系爭專利申請專
利範圍第2項不具進步性。㈢上訴人即參加人所提之引證資
料無法證明系爭專利申請專利範圍第3項不具新穎性:系爭
專利申請專利範圍第3項為依附於第1項獨立項之附屬項,除
包含第1項所有之技術特徵之外,第3項進一步限縮界定其中
「該拋光層具有一在40℃時約為150到2,000MPa的張力模數
。」。而上訴人及上訴人即參加人均未能證明引證一之公開
日期早於系爭專利之優先日,不具證據力,無法證明系爭專
利申請專利範圍第1項不具新穎性,自亦無法證明系爭專利
申請專利範圍第3項不具新穎性。引證十九、引證二十、引
證二十一既無法證明系爭專利申請專利範圍第1項不具新穎
性,自亦無法證明系爭專利申請專利範圍第3項不具新穎性
。㈣上訴人即參加人所提之引證資料無法證明系爭專利申請
專利範圍第4項不具新穎性:系爭專利申請專利範圍第4項為
依附於第1項獨立項之附屬項,除包含第1項所有之技術特徵
之外,第4項進一步限縮界定其中「該拋光層具有一約為100
到1,000(1/Pa在40℃時)之KEL。」。而上訴人及上訴人即參
加人均未能證明引證一之公開日期早於系爭專利之優先日,
不具證據力,無法證明系爭專利申請專利範圍第1項不具新
穎性,自亦無法證明系爭專利申請專利範圍第4項不具新穎
性。引證二十一既無法證明系爭專利申請專利範圍第1項不
具新穎性,自亦無法證明系爭專利申請專利範圍第4項不具
新穎性。㈤上訴人即參加人所提之引證資料無法證明系爭專
利申請專利範圍第5項不具進步性:系爭專利申請專利範圍
第5項為依附於第1項獨立項之附屬項,引證六、七並未揭示
該研磨墊之E'(30℃)/E'(90℃)之比值。而上訴人及上訴人
即參加人均未能證明引證一之公開日期早於系爭專利之優先
日,不具證據力,已於前述。故引證一、六、七之結合無法
證明系爭專利申請專利範圍第5項不具進步性。又引證二十
一、六、七並未揭示該研磨墊之E'(30℃)/E'(90℃)之比值
。故引證二十一、六、七之結合無法證明系爭專利申請專利
範圍第5項不具進步性。㈥上訴人即參加人所提之引證資料
無法證明系爭專利申請專利範圍第6項不具進步性:系爭專
利申請專利範圍第6項為依附於第1項獨立項之附屬項,而引
證四並未揭示該研磨墊之E'(30℃)/E'(90℃)之比值。而上
訴人及上訴人即參加人均未能證明引證一之公開日期早於系
爭專利之優先日,不具證據力,已於前述。故引證一、四之
結合無法證明系爭專利申請專利範圍第6項不具進步性。引
證二十一、四並未揭示該研磨墊之E'(30℃)/E'(90℃)之比
值。故引證二十一、四之結合無法證明系爭專利申請專利範
圍第6項不具進步性。㈦上訴人即參加人所提之引證資料無
法證明系爭專利申請專利範圍第7項不具新穎性或進步性:
系爭專利申請專利範圍第7項為依附於第1項獨立項之附屬項
,而引證十九、引證二十一既無法證明系爭專利申請專利範
圍第1項不具新穎性,自亦無法證明系爭專利申請專利範圍
第3項不具新穎性。又引證五、引證八並未揭示該研磨墊之
E'(3 0℃)/E'(90℃)之比值。而上訴人及上訴人即參加人均
未能證明引證一之公開日期早於系爭專利之優先日,不具證
據力,已於前述。又引證一、五、八所揭示者並非相同之研
磨墊,是以引證一、五或引證一、八並無使該二種不同研磨
墊不同性質結合之動機教示或製法揭示。故引證一、五之結
合無法證明系爭專利申請專利範圍第7項不具進步性。㈧上
訴人即參加人所提之引證資料無法證明系爭專利申請專利範
圍第8項不具進步性:引證四、九、十二、十三、二十一、
二十並未揭示該研磨墊之E'(30℃)/E'(90℃)之比值。而上
訴人及上訴人即參加人均未能證明引證一之公開日期早於系
爭專利之優先日,不具證據力,已於前述。因此引證一、四
、九或一、四、十二或引證一、四、十三或引證一、二十一
、二十、九或引證一、二十一、二十、十二或引證二十一、
二十、十三或引證二十一、九或引證二十一、十二或引證二
十一、十三或引證一、二十一、九或引證一、二十一、十二
或引證一、二十一、十三或引證二十、九或引證二十、十二
或引證二十、十三之結合或引證十三無法組合出系爭專利申
請專利範圍第8項所請方法中「拋光層」。㈨上訴人即參加
人所提之引證資料無法證明系爭專利申請專利範圍第9項不
具進步性:系爭專利申請專利範圍第9項為依附於第1項獨立
項之附屬項,包括第8項所述之構成。引證四、八至十一、
二十一、十九、二十並未揭示該研磨墊之E'(30℃)/E'(90℃
)之比值。而上訴人及上訴人即參加人均未能證明引證一之
公開日期早於系爭專利之優先日,不具證據力,已於前述。
因此引證一、四、八至十一或引證一、四、十、十一或引證
一、四、十三或引證一、二十一、十九、二十、八至十一或
引證一、二十一、十九、二十、十、十一或引證一、二十一
、十九、二十、十三或引證一、四、十九、八至十一或引證
一、四、十九、十、十一或引證一、四、十九、十三或引證
二十一、八至十一或引證二十一、十、十一或引證二十一、
十三或引證一、十九、二十、八至十一或引證一、十九、二
十、十、十一或引證一、十九、二十、十三或引證一、二十
一、八至十一或引證一、二十一、十、十一或引證一、二十
一、十三或引證十九、二十、十三之結合或引證十三無法組
合出系爭專利申請專利範圍第9項所請方法中「拋光層」之
技術特徵,故無法證明系爭專利申請專利範圍第9項不具進
步性。㈩上訴人即參加人所提之引證資料無法證明系爭專利
申請專利範圍第10項不具進步性:系爭專利申請專利範圍第
10項為依附於第1項獨立項之附屬項,包括第8項所述之構成
,引證四、六、七、九、十二、十三、二十一並未揭示該研
磨墊之E'(30℃)/E'(90℃)之比值。而上訴人及上訴人即參
加人均未能證明引證一之公開日期早於系爭專利之優先日,
不具證據力,已於前述。因此引證一、四、六、七、九或引
證一、四、六、七、十二或引證四、六、七、十三或引證一
、二十一、六、七、九或引證一、二十一、六、七、十二或
引證一、二十一、六、七、十三或引證二十一、四、六、七
、九或引證二十一、四、六、七、十二或引證二十一、四、
六、七、十三或引證一、四、六、九或引證一、四、六、十
二或引證一、四、六、十三或引證二十一、四、六、九或引
證二十一、四、六、十二或引證二十一、四、六、十三或引
證十三、四、六之結合無法組合出系爭專利申請專利範圍第
10項所請方法中「拋光層」之技術特徵,故無法證明系爭專
利申請專利範圍第10項不具進步性。從而,上訴人即參加人
所提之引證資料均無法證明系爭專利不具新穎性及進步性,
並未違反90年10月24日修正公布之專利法20條第1項第1款、
第2項規定,本應為舉發不成立之審定,而上訴人為「舉發
成立,應撤銷專利權」之處分,於法即有未洽。訴願決定未
加
指摘而予維持,
亦非妥適。是以被上訴人請求撤銷訴願決
定及原處分,為有理由,應予准許。
五、本院
按:
㈠系爭專利係於92年3月5日審定准予專利,是系爭專利有無撤銷
之原因,應以核准審定時有效之90年10月24日修正公布之專利
法為斷。次按稱發明者,謂利用自然法則之技術思想之高度創
作,90年10月24日修正公布之專利法第19條定有明文。又(第
1項第1款)凡可供產業上利用之發明,申請前已見於刊物或已
公開使用者,得依法申請取得發明專利,(第2項)發明係運
用申請前既有之技術或知識,而為熟習該項技術者所能輕易完
成時,雖無前項所列情事,仍不得依法申請取得發明專利,同
法第20條第1項第1款、第2項亦有明文。另發明有違反第20條
規定之情事者,任何人得附具證據,向專利專責機關提起舉發
(同法第72條第1項規定
參照)。準此,系爭專利有無違反同
法第20條第1項第1款及第2項所定情事而應撤銷其發明專利權
,依法應由舉發人(上訴人即參加人)附具證據證明之,倘其
證據不足以證明系爭專利有違前揭專利法之規定,自應為舉發
不成立之處分。又依90年10月24日修正公布之專利法第20條第
1項第1款規定發明專利之新穎性要件,亦即在發明專利申請案
之申請日之前,大眾經由刊物公開或使用公開所能得知之先前
技術,將使系爭專利不具新穎性。以上均經原判決論述甚詳,
經核並無不合。
㈡按舉發人補提理由及證據,應自舉發之日起1個月內為之,90
年10月24日修正公布之專利法第72條第4項定有明文。又智慧
財產案件審理法第33條第1項規定:「關於撤銷、
廢止商標註
冊或撤銷專利權之行政訴訟中,當事人於言詞
辯論終結前,就
同一撤銷或廢止理由提出之新證據,智慧財產法院仍應審酌之
。」限於「同一撤銷理由提出之新證據」。經查,上訴人即參
加人於舉發階段所提之撤銷理由及引證資料詳如原判決附表二
編號1至28、31、34、37、40、44、47、50、53、56、59、64
、67、70、73、76所示之爭點。嗣於本件行政訴訟,上訴人即
參加人依智慧財產案件審理法第33條第1項規定,除提出引證
十二、十三之新獨立引證資料外,並就同一撤銷理由,提出新
的獨立引證資料之組合(即原判決附表二編號29、30、32、33
、35、36、38、39、41至43、45、46、48、49、51、52、54、
55、57、58、60至63、65、66、68、69、71、72、74、75、77
至79所示、於「新證據」欄標示「ˇ」者),均構成獨立之爭
點,
核屬新證據,原審法院一併審酌之,
自無不合。
㈢原判決就上開引證依各爭點檢討,並逐項比對系爭專利申請專
利範圍各請求項,關於上訴人即參加人所提之引證資料均無法
證明系爭專利不具新穎性及進步性之事實,以及上訴人智慧財
產局為「舉發成立,應撤銷專利權」之處分於法未洽,訴願決
定未加指摘而予維持,亦非妥適等事項均詳予以論述,是原判
決所適用之法規與該案應適用之現行法規並無違背,與解釋判
例,亦無牴觸,並無所謂原判決有違背法令之情形。
㈣次按證據之證明力如何或如何調查事實,
事實審法院有衡情斟
酌之權,苟已斟酌全辯論意旨及調查證據之結果,而未違背
論
理法則或
經驗法則,自不得遽指為違法。經查,原審已就其調
查之證據,本於所得之
心證,逐一論述上訴人即參加人所提之
引證一、1-1至1-9各項證據(原判決第70至73頁),認定上開
引證無法互相勾稽,無從認引證一已於2000年4月26日至27日
公開發行,而無法證明其公開日早於系爭專利之優先權日(同
年5月27日),自不得作為證明系爭專利申請專利範圍第1項不
具新穎性之證據
等情,自與論理法則及經驗法則無違,難謂有
判決不適用法規或判決不備理由之違法。上訴意旨以:原審未
予詳實審認,對引證1-1第1頁載明該出版品集結之論文像出自
「Symposium held April 26-27,2000,San Francsco,
Calfornia,U.S.A.」之重要事證何以不採,亦未說明不採之
理由,乃對當事人
業已提出之重要
攻擊防禦方法漏未審酌,即
屬理由不完備;又綜觀原判決理由,對於引證一、引證1-1至
1-9多達10項證據之審查,原審僅以個別且切割方式論述其證
據能力或證據力,未予整體調查綜合論究之,僅泛以「引證一
、引證1-1至1-9無法互相勾稽」一語帶過,而輕忽引證資料相
互間之關連性及勾稽,已明顯違反專利審查基準有關「證據之
調查採證」規定,自有判決不適用法規之違法;原判決以引證
一之全部技術內容未於系爭專利優先權日前公開發表,認定引
證一不具證據能力,卻忽略引證一、引證1-5已於2000年4月26
-27日研討會上公開發表與系爭案有關之技術特徵,其適用法
規
顯有違誤,有判決不備理由及理由矛盾之違法;引證一、引
證1-5作者Irene Li針對其自身之著作論文,確曾於2000年4月
26 -27日研討會中公開發表,就演講內容所揭露之技術特徵於
公證人面前為陳述聲明係屬作者個人親身經歷之客觀事實,並
無主觀偏見及錯誤臆測之問題,原判決適用法規有違經驗法則
及論理法則之違背法令云云,無非對於原判決已詳予論斷之事
項再予爭執,殊非可採。
㈤上訴意旨雖又以:原審僅就引證一技術爭點進行實質審查,因
此上訴人即參加人信任引證一及引證1-1至1-9均有證據適格而
具證據能力,即引證一之公開日期早於系爭專利之優先權日,
否則何以令兩造就引證一之技術特徵與系爭專利進行實質證據
力攻防?原審程序瑕疵足使上訴人喪失於原審就引證一、引證
1-5、引證1-6等補強證據之實質真正予以適當完全之辯論及舉
證,原判決之突襲裁判有違
程序正義,並有判決不適用法規之
違背法令,原判決理由中並未載明其法令依據為何,亦未給予
當事人辯論機會,有判決不備理由之違誤云云。
惟查,被上訴
人於原審業已主張引證1之公開日並未早於系爭專利之優先權
日等節,上訴人等亦就引證1之公開日等為答辯(參原判決第8
頁、第27、28、第41頁等所作書狀整理),兩造於原審歷次
準
備程序對雙方書狀均予以答辯,自不得於原審敗訴後,指摘原
判決之突襲裁判有違程序正義云云,上訴人之主張,並非可採
。
㈥原判決就系爭專利申請專利範圍第1項之前言界定其係「一種
用來平面化一半導體元件或其先質表面之拋光襯墊」,乃「用
途界定物之請求項」類型,依申請專利範圍整體原則,系爭專
利申請專利範圍第1項除受該申請專利範圍所載技術特徵之限
定外,並受所載用途之限定等事項之論述,係就系爭專利所為
解釋申請專利範圍之職權行使,經核,原判決業已詳述其事實
認定之依據及
得心證之理由,核與卷內事證並無不符;經核並
無違背論理法則或經驗法則,亦無判決不適用法規或適用不當
、不備理由等違背法令情事。至於「用途界定物之請求項」類
型,以及申請專利範圍整體原則,均係專利領域眾所周知之概
念用語,原判決為說明方便,引用該概念,並
非特殊專業知識
或
法律爭點,縱原判決未使用上開用語,系爭專利範圍第1項
所載技術特徵,仍並應受所載「一種用來平面化一半導體元件
或其先質表面之拋光襯墊」文字之限定,原審雖在兩造爭點未
列入「用途界定物之請求項」、申請專利範圍整體原則,或未
諭知將使用上開概念用語,亦難認有違智慧財產案件審理法第
34條
準用第8條規定之特殊專業知識應予當事人辯論機會或開
示原則。上訴意旨以:系爭專利並不適用原審認定之審查基準
中的「用途界定物」之規定,且原審兩造從未主張或抗辯系爭
專利申請專利範圍第1項屬於用途界定之請求項,有違智慧財
產案件審理法第8條規定,原判決有適用法規不當及判決不備
理由之違誤云云,無非就原審取捨證據、認定事實之職權行使
,任意指摘原判決有違背法令情事,並非足取。
㈦另查,原判決業已依原證4中第6(a)圖(見原審卷第1冊第183
頁),及上訴人即參加人所提之參證29中第5圖(見原審卷第4
冊第38頁),認其蒲松比值隨溫度而變化,另以「蒲松比資料
」(見原審卷第5冊第11頁)認蒲松比改變之程度亦隨材質之
不同而有所差別,通常對溫度的影響,於材質之玻璃轉移溫度
(Tg)處更會有顯著之效應等情,以及對上訴人等主張:引證十
九之第602頁2.1段已揭露該研究中研磨墊之蒲松比假設為0.5
,故該蒲松比值即應視為定值云云、另上訴人智慧財產局主張
原證4之第1頁右欄第7至8行揭示蒲松比被視為定值云云、另上
訴人即參加人依參證29所主張之事項如何不可採,已詳述其事
實認定之依據及得心證之理由(原判決第74至81頁),核與卷
內事證並無不符;經核並無違背論理法則或經驗法則,亦無判
決不適用法規或適用不當、不備理由等違背法令情事。上訴人
主張:原判決理由已認定蒲松比值實務應用上通常將之視為定
值,於本案實務應用時又認定無法認定蒲松比值為定值,判決
理由顯有矛盾。原判決對於蒲松比值改變之程度,認定因材質
不同而有差別,然原審關於參證29部分卻以其結構特徵與引證
十九不同,作為無法適用之理由,其判決理由顯有矛盾。原判
決以認定蒲松比值之極大與極小值,可直接推導引證九中SUBA
IV之E'比值,然原判決對於SUBA IV有無揭露系爭專利技術特
徵並未載明理由,有判決不備理由之違誤。原判決所載玻璃移
轉溫度(Tg),綜觀原審所引卷證並無此字樣記載,原審所引資
料與玻璃轉換溫度並無關係,原判決有判決不適用法規之違誤
;原判決就參證29第5圖有添加玻璃纖維乙節,顯有錯誤,對
於參證29第5圖有添加玻璃纖維之事實認定未依卷證資料所載
,有判決未依論理及經驗法則之
判決違背法令云云,係重述其
在原審業經主張而為原判決摒棄不採之陳詞,亦非足取。
㈧本件原判決已斟酌全辯論意旨及調查證據之結果,就上訴人即
參加人所提引證二十一僅簡要記載IC1000拋光墊之規格及內容
,並未具體揭露其E'(30℃)/E'(90℃)之比值,無從認定引證
二十一已公開使用致系爭專利申請專利範圍第1項之技術內容
成為公知狀態,或處於不特定人得以使用該發明之狀態,是無
從以引證二十一與引證一、引證1-5、引證十九相互勾稽,而
認系爭專利申請專利範圍第1至4、7項之技術內容均因IC1000
拋光墊之公開使用而喪失新穎性等情(原判決第82、83頁),
詳予論斷,將判斷而得心證之理由記明於判決,並敘明上訴人
即參加人主張如何不可採之理由,以及原處分違誤之理由,經
核並無違背論理法則或經驗法則,亦無判決不適用法規或適用
不當、不備理由等違背法令情事。上訴人即參加人上訴意旨略
謂:發明專利之新穎性要件中,所謂已公開使用者,包括公開
販售即屬公開之規定,被上訴人生產IC1000研磨墊,為銷售其
產品,印就型錄即引證二十一供人參考,為通常之商業行銷行
為,引證二十一既
可證明被上訴人生產之IC1000拋光墊在系爭
專利優先權日之前已公開使用,則引證一、引證1-5及引證十
九均在系爭專利優先權日之前,使用IC1000拋光墊所公開發表
之研究論文,並揭露系爭專利請求項第1-4、7項所定義之技術
內容,亦使該技術能為公眾得知之狀態。基於一般商業習慣,
在同一廠商及同一型號下係代表同一結構型態之產品,引證二
十一與引證一、引證1-5、引證十九當可互相勾稽具關聯性。
原判決明顯誤解混淆使用與販售間「公開」之差異性,自屬影
響判斷系爭專利是否具備專利要件之重要爭點理由,有判決不
適用法規或適用不當之違背法令云云,係就原審所為論斷或駁
斥其主張之理由,泛言原判決不適用法規或適用不當,並非可
採。
㈨末按專利審查基準為專利專責機關為規範內部審查作業而依職
權所頒訂之非直接對外發生效力之一般、抽象規定,屬於
行政
規則(
行政程序法第159條第1項參照)。基於
行政自我拘束原
則,為專利審查機關自應受其拘束,專利審查基準僅係拘束
行
政機關,並不拘束行政法院或人民,此係基於法治國
依法行政
及
權力分立原則,因專利審查基準乃為行政機關所制定之行政
規則之性質使然。前揭專利法第20條第2項關於進步性之規定
,係以不具進步性反面規定方式規定:「發明係運用申請前既
有之技術或知識,而為熟習該項技術者所能輕易完成時,雖無
前項所列情事,仍不得依法申請取得發明專利」者,是以判斷
所謂進步性之重點,在於所屬技術領域中具有通常知識者,依
申請前之先前技術不能輕易完成者而言,而先前技術是否能輕
易完成,主要係指具有共通技術特徵之先前技術對系爭專利技
術內容是否有所揭露、教示或建議,使熟習該項技術者能運用
該先前技術所揭露、教示或建議之內容輕易完成者,此係對進
步性「先前技術不能輕易完成」
構成要件之法律解釋,行政法
院自得就進步性要件為合法之闡釋,不受專利審查基準之拘束
。而事實上,專利審查基準對於進步性比對之先前技術以具有
與系爭專利所欲解決之問題以及技術內容是否相關即可,此一
見解前後版本並無變更。經查,原判決對於引證五、六、八係
以各該引證均未揭示該研磨墊之E'(30℃)/E'(90℃)之比值,
且上訴人等均未能證明引證一之公開日期早於系爭專利之優先
日,不具證據力,引證一與上述各該引證案,並無使各該引證
不同研磨墊不同性質結合之動機教示或製法揭示,故引證一與
各該引證五、六、八之結合無法證明系爭專利申請專利範圍各
該第2項或第7項不具進步性等情,核與卷內事證並無不符;經
核並無違背論理法則或經驗法則,亦無判決不適用法規或適用
不當、不備理由等違背法令情事。原審雖有於判決中敘述引證
一、五、六、八所揭示者「並非相同之研磨墊」等文句,但僅
係為說明無從就上開引證案得到動機教示或製法揭示,並非認
定以不屬共通技術特徵為由,而不將上開引證案作先前技術者
,上開論述,自與所謂判決不備理由之違法情形不相當。上訴
意旨以:原判決判斷進步性之方式,逕認引證案所揭示者需屬
「相同研磨墊」為限,始有先前技術或文獻結合之動機教示或
製法揭示,然依83年11月25日公告之專利審查基準1-2-20進步
性之判斷方式,僅需注意欲解決之問題以及技術內容是否相關
,並未限於相同產品始能結合援引,原判決狹義之採證認定及
判斷依據,有判決不適用法規或適用法規不當之違背法令云云
,係屬誤解,自非可採。至於上訴人即參加人上訴意旨略謂:
引證一、五;引證一、六;引證一、八等文獻組合確屬相同之
技術領域,為熟悉該項技術者所能輕易完成之引證文獻組合,
原判決有判決不適用法令之違誤,縱依原判決標準引證一、五
、六、八之文獻均有以「模數性質定義研磨墊特徵」之「動機
教示」並足以否定系爭專利之進步性,原判決何以不採及不採
之理由均未於判決理由中載明,有判決不備理由之違誤云云,
無非就原審取捨證據、認定事實之職權行使,任意指摘原判決
有違背法令情事,並非可採。
㈩從而,上訴論旨,仍執前詞,指摘原判決違背法令,求予廢棄
,為無理由,應予駁回。
六、據上論結,本件上訴為無理由。依行政訴訟法第255條第1項
、第98條第1項前段、第104條、民事訴訟法第85條第1項前
段,判決如主文。
中 華 民 國 100 年 12 月 22 日
最高行政法院第五庭
審判長法官 黃 合 文
法官 鄭 忠 仁
法官 劉 介 中
法官 帥 嘉 寶
法官 陳 鴻 斌
以 上
正 本 證 明 與 原 本 無 異
中 華 民 國 100 年 12 月 23 日
書記官 張 雅 琴